等離子清洗機處理粉體材料，可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進行清洗。
真空等離子清洗機 SPV60 技術規(guī)格書（滾輪式腔體方案）
真空等離子清洗的優(yōu)勢
等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經(jīng)在眾多領域廣泛使用。 與傳統(tǒng)的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV 清洗等，具有以下優(yōu)點：
（A）處理溫度低
處理溫度可以低至 80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。
（B）處理全程無污染
等離子清洗機本身是很環(huán)保的設備，不產(chǎn)生任何污染，處理過程也不產(chǎn)生任何污染。
（C）處理效果穩(wěn)定
等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果良好。
（D）可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進行清洗。
等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。
（A）控制系統(tǒng)： 控制系統(tǒng)的功能在于控制整個設備的運行，包括人機界面（觸摸屏）、PLC、電氣電路。采 用全自動控制系統(tǒng)的真空等離子清洗，可實現(xiàn)多種模式多種程序?qū)η逑丛O備進行控制，滿足 不同客戶的需求。
（B）激勵電源系統(tǒng)：
激勵電源主要有三類：40KHz 的中頻激勵電源，13.56MHz 的射頻激勵電源，2.45GHz 的 微波激勵電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應用場合不同。
（C）真空腔體： 真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的：1）鋁合金腔體，2）不銹鋼真空腔體，3）石英腔體。根 據(jù)用戶的不同需求，可實現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。
工藝氣體包括流量計、氣壓閥等，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案，氬氣、氧氣、氫氣、
氮氣、四氟化碳等，可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面。
（E）真空泵： 真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵，油泵主要采用雙級旋片泵，根據(jù)用戶所采用的腔體體積、 工作效率、環(huán)境要求來制定真空泵的方案。
滾輪式腔體技術參數(shù)
電源系統(tǒng) | 定制射頻電源：頻率 13.56MHz；功率 0~500W 可調(diào)； 全自動真空電容匹配器 |
真空系統(tǒng) | 定制雙級旋片泵（油泵）：60m3/h， 真空計：日本英?？灯だ嵴婵沼?/span> 真空管路：全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
腔體系統(tǒng) （定制） | 鋁合金真空腔體，軍工級焊接密封，25mm 厚度 滾筒為不銹鋼材質(zhì) 腔體內(nèi)部尺寸：375mm（寬）×375mm（高）×425mm（深）， 即 60L 滾筒尺寸：297mm（直徑）×350mm（高），即 48L |
氣體系統(tǒng) | 氣壓閥，日本 SMC 流量計，七星華創(chuàng)品牌，0~300SCCM 兩路工藝氣體：氬氣、氧氣 |
控制系統(tǒng) | PLC，德國西門子 S 系列 觸摸屏，威綸通，七寸屏幕 電氣部件：德國施耐德品牌 |
其它參數(shù) | 外形尺寸：790mm（寬）×1639mm（高）×894mm（深） 重量：400KG 顏色：銀灰色 |
滾輪式腔體尺寸參數(shù)
