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1、超低處理溫度：

真空腔體由鋁合金材質(zhì)制造，經(jīng)過真空度撿漏測試，處理溫度低于45℃，保壓性能優(yōu)異，可滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。

2、多路氣體控制：

高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，針對不同的產(chǎn)品，通入不同反應氣體，雙路或者多路工藝氣體，使用清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品，全方位均勻清洗。

3、高效率處理：

單次可處理多片/批次材料，更可根據(jù)材料、產(chǎn)能進行定制。