隨著全球?qū)?/span>“雙碳”目標的共識越來越高，綠色能源成為全球能源轉(zhuǎn)型的重要方向，光伏產(chǎn)品的需求將持續(xù)走高。在光伏行業(yè)的蓬勃發(fā)展的背景下，晟鼎精密利用等離子技術，研發(fā)出國內(nèi)首創(chuàng)等離子石墨舟干式清洗設備與工藝。
石墨舟干法等離子清洗可用于去除石墨舟表面的氮化硅鍍層，提高硅片的轉(zhuǎn)化效率和生產(chǎn)良率，為光伏行業(yè)帶來了重要的創(chuàng)新和進步。
石墨舟清洗的必要性
石墨舟是什么？在光伏電池片制程中，硅片會進行氮化硅鍍層，氮化硅膜具有減反射作用和鈍化作用，能提高硅片的太陽能轉(zhuǎn)化率，而硅片在PECVD過程中會用到了石墨舟作為工裝載具。
石墨舟作為鍍膜工序中硅片的載具使用，表面也會被沉積上氮化硅薄膜,膜層厚度積累到一定程度會影響到硅片的鍍膜工藝。
例如：
①局部氮化硅膜脫落，引起舟的表面狀態(tài)發(fā)生變化；
②氮化硅膜很厚會引起舟的導熱性能發(fā)生變化，局部過厚會引起鍍膜不均勻及色差片的產(chǎn)生。使用一定次數(shù)后需要定期清洗去除表面的膜層。
石墨舟傳統(tǒng)濕法清洗的五大弊端
目前清洗石墨舟采用的都是傳統(tǒng)濕法清洗工藝,但現(xiàn)有濕法清洗技術存在五大弊端:
①清洗時間過長
濕法清洗一個石墨舟直到烘干需要16-20個小時左右，清洗效率低，石墨舟流轉(zhuǎn)緩慢，需購買較多的石墨舟用于周轉(zhuǎn)；
②成本高
成本主要包含①化學品費用；②能耗費用和純水費用；③ 人工費用；④因為清洗時間長，企業(yè)一般要多買實際用量的2倍左右的石墨舟參與周轉(zhuǎn);
③HF揮發(fā)性強，強腐蝕及劇毒，作業(yè)安全要求高，人體危害及環(huán)境破壞大。
④HF對陶瓷配件腐蝕快，一般需要對舟體拆解后分開清洗，工程量大；
⑤清洗流程長，設備占地面積大；
石墨舟干法清洗的優(yōu)勢
基于傳統(tǒng)石墨舟濕式清洗工藝的諸多缺點，晟鼎利用等離子技術，研發(fā)出國內(nèi)首創(chuàng)等離子石墨舟干式清洗設備與工藝。
技術創(chuàng)新是產(chǎn)品發(fā)展的內(nèi)核，晟鼎（達因特）11年以來一直專注等離子技術的研發(fā)及應用開發(fā)，結(jié)合行業(yè)發(fā)展，在新領域的不斷拓展，石墨舟干法清洗方式也將在光伏行業(yè)中發(fā)揮更大的作用，為行業(yè)的綠色轉(zhuǎn)型貢獻更多力量。